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导电滑环在单晶炉构成方面的应用

发布时间:2013-01-09 浏览次数:5441
 单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。比如85炉,是指主炉筒的直径大小,120、150等型号是由装料量来决定的。单晶炉的构成主要包括:
 提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管、
导电滑环
等其他部件组成
 副室:主要是副室筒以及上下法兰组成
 炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成
 炉筒:包括取光孔
 下炉筒:包括抽真空管道
 底座机架:全铸铁机架和底座
 坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成
 分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等
 氩气管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件
 真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等
 电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线。
 
导电滑环作为单晶炉上一个重要的零配件,也起着非常重要的作用。导电滑环
是用于提拉头信号传输及电源供给的,通过360°的旋转来传递电流及信号。所以一旦导电滑环出现故障,提拉头信号就无法正常传输,就会导致单晶炉无法正常运作。作为导电滑环生产商的深圳市智优鑫电子有限公司为保证产品质量,在每个环节都严格把关,从来料检验到出货检查,以确保我司所生产的导电滑环质量可靠、性能稳定,让客户用的放心。
  • CC
  • 联盟绿色认证
  • ISO9001
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